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| 行業名稱 | 工藝設施 | 污染物項目 | 最高允許排放濃度（mg/m³） | 與排氣筒高度對應的最高允許排放速率（kg/h） | 最低去除效率（%） | |||
| 15m | 20m | 30m | 40m | |||||
| 電子產品制造 | 清洗、蝕刻、涂膠、干燥等 | 苯 | 1 | 0.3 | 0.5 | 1.4 | 2.5 | - |
| 甲苯 | 3 | 0.5 | 0.9 | 2.4 | 4.1 | - | ||
| 二甲苯 | 12 | 0.7 | 1.2 | 3.5 | 6.5 | - | ||
| VOCs | 80 | 4.0 | 8.0 | 24 | 42 | 80% | ||
| 涉及有機溶劑生產和使用的其他行業 | - | VOCs | 80 | 4.0 | 8.0 | 24 | 42 | 70% |
